為下道工序的質(zhì)量打好基礎(chǔ)，清洗主要參數(shù)、工藝流程見《清洗作業(yè)指導(dǎo)書》。

5-2-3、涂膠：

涂膠是光刻的首道工序，它是在ITO玻璃ITO面上均勻涂一層光刻膠，LCM液晶顯示屏

他發(fā)現(xiàn)這類白色渾濁物質(zhì)外觀上雖然象液體。但呈各向異性晶體特有的雙折射性。于是萊曼將它命名為“液態(tài)晶體”。這就是液晶的由來。

1-3液晶的種類：

隨著科學(xué)的發(fā)展，人們認(rèn)識的提高，發(fā)現(xiàn)液晶物質(zhì)基本上都是有機(jī)化合物?，F(xiàn)有的有機(jī)化合物中每200種中就有一種呈液晶相。從成分和出現(xiàn)液晶相物理?xiàng)l件來看，

涂膠的效果好壞直接影響光刻的質(zhì)量，它主要控制的內(nèi)容為：光刻膠的配制，涂層厚度及均勻性，涂層表面狀態(tài)等。

使用稀釋的方法，即將高粘度的膠調(diào)成低粘度膠。涂膠前的ITO玻璃表面狀況對光刻膠與ITO層粘附質(zhì)量影響極大。LCM液晶顯示屏

分子的重心在分子層中是無序的，形成一層層的二維流體。

綜上所述，液晶大致可分為以上三大類，各種類型的液晶因其有著不同的結(jié)構(gòu)，其各物性也有所不同，由于熱致液晶各項(xiàng)異性的液晶物質(zhì)的特殊穩(wěn)定的溫度范圍在室溫以上。只有這類液晶才能做為顯示器材料。

在生產(chǎn)過程中為保證ITO膜與光刻膠間有良好的接觸和粘性，清洗后的玻璃須干凈及干燥。涂膠的質(zhì)量要求是：膠與ITO粘附良好，不能有脫落現(xiàn)象；涂膠厚度均勻一致，不能有厚有薄，

將條狀的液晶盒灌口朝同一方向，相對前后同一位置的液晶盒灌口在同一直線上，插在液晶架上，灌口朝下（灌口對準(zhǔn)海棉條，但不接觸）放進(jìn)液晶機(jī)的托架上，LCM液晶顯示屏

同性的液體。反過來這類物質(zhì)從液體轉(zhuǎn)變成固體時，也要經(jīng)過中間狀態(tài)。各種能在一定的溫度范圍內(nèi)兼有液體和晶體，二者特性的物質(zhì)叫做液晶（LiquidCrystal）也叫做液晶相、中間相或中介相等，又稱為物質(zhì)的第四態(tài)。

液晶的由來

液晶最早是奧地利植物學(xué)家萊尼茨爾（F.Reinitzer）于1888年發(fā)現(xiàn)的。

加以固定。液晶機(jī)內(nèi)海棉條加有足夠液晶。這時開始抽真空，，當(dāng)真空度到所需要求時，上升液晶機(jī)內(nèi)底盤，讓底盤上的海棉條與灌口充分接觸。