為下道工序的質(zhì)量打好基礎，清洗主要參數(shù)、工藝流程見《清洗作業(yè)指導書》。

5-2-3、涂膠：

涂膠是光刻的首道工序，它是在ITO玻璃ITO面上均勻涂一層光刻膠，LCM液晶顯示屏

同性的液體。反過來這類物質(zhì)從液體轉(zhuǎn)變成固體時，也要經(jīng)過中間狀態(tài)。各種能在一定的溫度范圍內(nèi)兼有液體和晶體，二者特性的物質(zhì)叫做液晶（LiquidCrystal）也叫做液晶相、中間相或中介相等，又稱為物質(zhì)的第四態(tài)。

液晶的由來

液晶最早是奧地利植物學家萊尼茨爾（F.Reinitzer）于1888年發(fā)現(xiàn)的。

涂膠的效果好壞直接影響光刻的質(zhì)量，它主要控制的內(nèi)容為：光刻膠的配制，涂層厚度及均勻性，涂層表面狀態(tài)等。

5-2-5-5、如用菲淋做掩膜版，菲淋與光學基板需貼合平整、緊密，不允許部分鼓起。

5-2-6．顯影：

顯影是將感光部分的光刻膠溶解，

從而改變其光學性質(zhì)來達到其顯示的效果。這是液晶做為顯示器的基本原理。

2-1何謂液晶顯示器：

利用液晶的各項電光效應，把液晶對電場、磁場、光線和溫度等分界條件的變化在一定條件下轉(zhuǎn)換成為可視信號制成的顯示器，就是液晶顯示器。液晶顯示器的英文為LiquidCrystalDisplay通常用LCD來代表液晶顯

LCM液晶顯示屏

除去留下來感光部分的膠膜從而顯示出所需的膠層圖案。顯影過程是將曝光后的玻璃放入顯影槽中，經(jīng)過一段時間后取出，再通過DI水把顯影液沖洗干凈。顯影液

將待磨擦的聚亞酰胺基板放置在可移動的平臺上，用裝有毛絨布的旋轉(zhuǎn)滾筒磨擦，就可以得到較好的磨擦定向效果?？墒菍嶋H的磨擦機器和磨擦結(jié)果卻絕非簡單易事。LCM液晶顯示屏

顯示器相比其有很多優(yōu)點。

2-2-1-1平面型顯示、體積小、重量輕、便于攜帶；

2-2-1-2功耗低、驅(qū)動電壓低；

2-2-1-3壽命長，一般在5萬小時以上；

2-2-1-4不含有害射線，對人體無害；

2-2-1-5被動顯示，不易被強光沖刷；

2-2-1-6易于驅(qū)動，可用大規(guī)模集成電路直接驅(qū)動；

要獲得取向膜的表面分子定向排列。就必須使磨擦機的機械振動極小，同時要求平臺和滾筒的平整度，光潔度以及滾筒與平臺的平行度都必須在接