為下道工序的質(zhì)量打好基礎(chǔ)，清洗主要參數(shù)、工藝流程見《清洗作業(yè)指導(dǎo)書》。

5-2-3、涂膠：

涂膠是光刻的首道工序，它是在ITO玻璃ITO面上均勻涂一層光刻膠，LCM液晶顯示屏

顯示器相比其有很多優(yōu)點(diǎn)。

2-2-1-1平面型顯示、體積小、重量輕、便于攜帶；

2-2-1-2功耗低、驅(qū)動(dòng)電壓低；

2-2-1-3壽命長(zhǎng)，一般在5萬(wàn)小時(shí)以上；

2-2-1-4不含有害射線，對(duì)人體無(wú)害；

2-2-1-5被動(dòng)顯示，不易被強(qiáng)光沖刷；

2-2-1-6易于驅(qū)動(dòng)，可用大規(guī)模集成電路直接驅(qū)動(dòng)；

涂膠的效果好壞直接影響光刻的質(zhì)量，它主要控制的內(nèi)容為：光刻膠的配制，涂層厚度及均勻性，涂層表面狀態(tài)等。

5-2-5、曝光：

曝光就是在涂好光刻膠的玻璃表面覆蓋掩模版，通常紫外光是行選擇性照射使受光部分的光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，改變了這一部分膠在顯影液中的溶解度。LCM液晶顯示屏

液晶最早在1968年5月美國(guó)RCA公司用于顯示器的制造，到目前廣泛的應(yīng)用于鐘表、計(jì)算器、儀表儀器、筆記本電腦、移動(dòng)電話、尋呼機(jī)、電子寵物、袖珍彩電、大型平板顯示器、投影電視等家用、工業(yè)用和軍事用顯示領(lǐng)域。

2-2液晶顯示器的優(yōu)、缺點(diǎn)：

2-2-1信息顯示技術(shù)隨著信息社會(huì)化的發(fā)展顯得越來(lái)越重要，液晶顯示器

顯影后，光刻膠膜顯現(xiàn)出與掩模版上一致的圖案。一般曝光的操作過程：曝光機(jī)的紫外燈打開預(yù)熱，待電壓穩(wěn)定，光刻版在版柜上通過顯微

③海棉條與封口對(duì)位時(shí)，海棉條須充分覆蓋灌口；
另外，生產(chǎn)過程中要對(duì)好玻璃和液晶的型號(hào)，經(jīng)確定無(wú)誤后再灌；灌LC房?jī)?nèi)須經(jīng)常除濕，使?jié)穸仍?0%以下。

5-2-20、LCM液晶顯示屏

由以上可知液晶分子的排列并不象晶體結(jié)構(gòu)那樣牢固，所以容易受到電場(chǎng)，磁場(chǎng)、溫度應(yīng)力以及吸附雜質(zhì)等外部影響。因而容易使其各項(xiàng)光學(xué)特性發(fā)生變化。液晶的這種作用力微弱的分子排列正是液晶有今日之廣闊市場(chǎng)的關(guān)鍵條件。液晶具有固定的偶極矩，所以施加電場(chǎng)可使液晶分子軸發(fā)生移動(dòng)，于是液晶分子的排列發(fā)生改變。

封口（點(diǎn)膠、固膠）：

將灌好LC液晶盒封口表面液晶擦拭干凈，點(diǎn)上一定量的封口膠，紫外線照射使膠本身發(fā)生化學(xué)反應(yīng)和交聯(lián)、