為下道工序的質(zhì)量打好基礎(chǔ)，清洗主要參數(shù)、工藝流程見《清洗作業(yè)指導(dǎo)書》。

5-2-3、涂膠：

涂膠是光刻的首道工序，它是在ITO玻璃ITO面上均勻涂一層光刻膠，LCM液晶顯示屏

同性的液體。反過來這類物質(zhì)從液體轉(zhuǎn)變成固體時，也要經(jīng)過中間狀態(tài)。各種能在一定的溫度范圍內(nèi)兼有液體和晶體，二者特性的物質(zhì)叫做液晶（LiquidCrystal）也叫做液晶相、中間相或中介相等，又稱為物質(zhì)的第四態(tài)。

液晶的由來

液晶最早是奧地利植物學(xué)家萊尼茨爾（F.Reinitzer）于1888年發(fā)現(xiàn)的。

涂膠的效果好壞直接影響光刻的質(zhì)量，它主要控制的內(nèi)容為：光刻膠的配制，涂層厚度及均勻性，涂層表面狀態(tài)等。

②圖形內(nèi)無多余ITO圖案、針孔、毛刺等、刻蝕干凈。

③腐蝕后的玻璃表面清潔，LCM液晶顯示屏

2-2-1-7結(jié)構(gòu)簡單，沒有復(fù)雜的機(jī)械部分；

2-2-1-8造價成本低。

2-2-2隨著液晶顯示器的廣泛應(yīng)用，人們也可以發(fā)現(xiàn)其有些缺點(diǎn)：

2-2-2-1由于它是被動元件，本身不發(fā)光，在暗處需借助其它的光源才具有可視性；

2-2-2-2有視角之限；

2-2-2-3應(yīng)答速度（30ms-120ms）與其他元件相比尚

沒有刻蝕不良，沒有殘留的被腐蝕物質(zhì)、油漬等。

④圖形定位準(zhǔn)確，各類標(biāo)記完整。

5-2-10、后清洗就是經(jīng)光刻過程后的玻璃用清潔劑DI水等把玻璃清洗干凈，烘干以供后工序生產(chǎn)。（清洗主要數(shù)見《后清洗作業(yè)指導(dǎo)書

5-2-13、定向：

在定向膜上用毛絨布在涂有定向?qū)拥牟ＡП砻孢M(jìn)行磨擦，LCM液晶顯示屏

無序排列轉(zhuǎn)變成整整齊齊的的有序排列。即從液相轉(zhuǎn)為氣相或固相。在晶體中，組成單元的有序排列，表示每個組成單元都處在一定的位置，不易流動而且有規(guī)律的排列，只要人們知道它的排列規(guī)則，就可以從一個組成單元出發(fā)，按照規(guī)律找到另一單元，即嚴(yán)格的空間有序。

就可以形所需成定向?qū)?。定向?qū)犹幍囊壕Х肿訉凑漳ゲ恋姆较蚺帕?，這樣可以獲得一致的取向。上下兩片處的液晶分子排列方向互成90℃。磨擦定向的原理很簡單。